Синтетичний кварцовий пісок 7N класу вступив у масове виробництво!

Тривалий час ланцюжок напівпровідникової промисловості моєї країни сильно покладається на імпорт для кварцового піску з високою чистотою 7N класу, який використовується в процесах виготовлення вдосконалених напівпровідників. Це було ключовим вузьким місцем у галузі. По мірі того, як технологія чіпів продовжує розвиватися, вдосконалені процеси поставили надзвичайно суворі вимоги до чистоти, рівномірності та стабільності кварцової підкладки.

Нещодавно китайська кварцова фабрика досягла значного технологічного стрибка від природного очищення рудного кварцу до хімічного синтезу високої чистоти. Вони встановили комплексну технологію, що охоплює технологію попередника, процеси хімічного синтезу, розробку основного обладнання та перевірку застосування. Вони успішно розробили та масово виробляли 7N-клас (99,99999%) синтетичний кварцовий пісок із загальним вмістом домішок менше 20 проміле, з повністю незалежними правами інтелектуальної власності. Цей синтетичний пісок використовується для виробництва напівпровідникових кварцових тиглів, фотолітографії та травлення, серед інших ключових процесів.

Цей успіх не випадково. Компанія постійно накопичила досвід синтезу кварцу з високою чистотою, розробила різноманітні вдосконалені технології для контролю процесів та пріоритетна детальна оптимізація, такі як контроль чистоти сировини, видалення залишкових матеріалів, контроль розміру частинок, технологія дисперсії та допінгові процеси. Ці технології були перетворені на конкурентні патенти.

Процес синтезу кварцового піску з високою чистотою з кремнієвого тетрахлориду за допомогою гідролізу рідкої фази

Цей винахід розкриває процес синтезу кварцового піску з високою чистотою з кремнієвого тетрахлориду за допомогою гідролізу рідкої фази. Процес включає рідкофазний гідроліз тетрахлориду кремнію з водою. Продукт зазнає миття, розділення твердих рідин, висихання, прожарювання, шліфування та скринінгу для отримання порошку кварцу з високою чистотою. Етап нагрівання включається під час поділу твердих рідин, між промиванням та роздільною рідиною або під час промивання для сприяння розкладенню ортосилічної кислоти в метасілічну кислоту, полегшення перенесення та очищення та зменшення відходів сировини. Температура сушіння становить 100-200 градусів, а температура прожарювання-1300-1500 градусів. Конструкція вапняна печі оптимізована для забезпечення рівномірного нагрівання та запобігання агломерації порошку.

Процес підготовки ультра-валют аморфного кремнезему синтезованого кварцового піску

Цей винахід розкриває процес підготовки ультрасвиточного аморфного кремнезему, синтезованого кварцового піску. Процес включає високотемпературну та високопоставлену реакцію аморфного кремнезему, мінерізатора та ультрачітної води з подальшим поділом твердих рідин під час розряду. Потім продукт заземлюється, миття кислоти, очищають і сушить для отримання продукту. Цей процес використовує тиск реактора для досягнення розділення твердих рідин під час вивантаження, заощадження витрат. Він також використовує аморфний кремнезем, похвалившись високою та керованою чистотою, зменшуючи дефіцит високоякісної кварцової руди в моїй країні. Отриманий кварцовий пісок має низький вміст алюмінію та низьку загальну кількість дев'яти домішок.

Процес підготовки до напівпровідникового класу синтетичного кварцу

Цей напівпровідниковий процес синтетичного кварцового підготовки включає чотири етапи: підготовка матеріалу, видалення домішок, обмін іонами та очищення старіння. Підготовка матеріалу передбачає додавання в обладнання силікату лугу металу до обладнання та розчинення та розведення чистою водою середньотемператури. Видалення домішок передбачає додавання домішки, помішуючи, дозволяючи суміші осідати та фільтрувати для розділення гідроксидів важких металів та обміну розчином. Іонний обмін передбачає передачу розчину, який слід обміняти через сильний кислотний обмінний стовпчик для видалення іонів кальцію та натрію, що призводить до соль. Очищення старіння передбачає, що дозволяє Соль стояти для отримання початкового гелю, який потім піддається старінню, промивання, сушіння, пульверизації, спікання та очищення ультрасвитоку для отримання продукту. Цей процес використовує інтегроване обладнання для підвищення автоматизації та ефективності.